Hult roterende halvlederbord

Hva er Hollow Rotary Semiconductor Table?

Et hult roterende halvlederbord er en ultra-presisjons roterende posisjoneringsplattform med en sentral gjennomgående-boring, konstruert spesielt for waferhåndtering, inspeksjon og prosesseringsutstyr i renroms halvlederproduksjon. Det hule senteret lar vakuumledninger, elektriske ledninger eller optiske sensorkabler passere gjennom rotasjonsaksen, noe som muliggjør ren, lav-partikkelintegrasjon uten ekstern kabelføring som kan føre til forurensning eller slitasjerelatert rusk.

Struktur

Tabellen integrerer et lav-partikkelformet, direkte-drev eller presisjonsreduksjonstrinn (ofte dreiemomentmotor eller harmonisk-drevet) under en lett, lav-utgassende arbeidsbordoverflate, støttet av høy-kryss-rullelagre for minimalt utløp og vibrasjon. Den sentrale boringen går konsentrisk gjennom stasjonen og bordet, slik at vakuumchucking-linjer eller wafersensorkabler kan passere uten ekstern ruting. Kodere med sub-buesekundoppløsning er vanligvis integrert for posisjoneringstilbakemelding med lukket-sløyfe.

Utvalgshensyn

Nøkkelfaktorer inkluderer borediameter, posisjoneringsnøyaktighet og repeterbarhet (under-mikron/buesekundnivå), klassifiseringskompatibilitet for renrom, partikkelgenereringshastighet, utgassingsegenskaper til materialer og smøremidler, torsjonsstivhet, tillatt belastning og setningstid. Vibrasjonsdemping og termisk stabilitet er spesielt kritisk siden termisk drift eller mikro-vibrasjon kan kompromittere waferjusteringsnøyaktigheten.

Søknader

Hule, roterende halvlederbord brukes i wafer-prealignere, inspeksjons- og metrologisystemer, dysebindingsutstyr og litografisk posisjonering der ultra-nøyaktig rotasjonsinnretting kombinert med ren pass-gjennomruting er avgjørende for prosessintegritet.

Installasjonshensyn

Installasjon må skje i et kontrollert renromsmiljø for å forhindre forurensning. Vakuum og elektriske ledninger ført gjennom boringen krever sikker strekkavlastning for å unngå partikkelgenerering fra kabelbøyning. Monteringsoverflater må være nøyaktig utjevnt og strammet i et kryssmønster, og koderkalibrering, vibrasjonsnivåer og partikkel-avgivelse bør verifiseres etter-installasjon før produksjonsbruk.

Her På denne siden introduserer vi en serie med hult roterende halvlederbord TMN130,

du vil se datablad, produksjonsbilder, videoer av test som følger:
Du er også velkommen til å se flere prosjekter eller besøke videogalleriet vårt på Youtube:https://www.youtube.com/@tallmanrobotics

Vanlige spørsmål:

1. Hva er de vanlige størrelsene på den hule åpningen til de hule rotasjonsbordene?

Vanlige blenderåpningsspesifikasjoner: Den hule blenderåpningen til mainstream hule roterende plattformer varierer fra 10 mm til 600 mm, med spesifikke modeller som 28 mm, 33 mm, 62 mm, 100 mm, 150 mm og større blenderåpningsmodeller som når over 600 mm

2. Hva er innvirkningen av størrelsen på den hule åpningen på ytelsen til hule roterende bord?

Innvirkningen av blenderåpning på ytelsen: Jo større blenderåpning, desto svakere er plattformstivheten. En for stor åpning kan føre til utilstrekkelig veggtykkelse og ujevn belastning, og dermed redusere belastnings-bærekapasitet og bøye- og torsjonsytelse, noe som påvirker operasjonell nøyaktighet og stabilitet. Kontroller strengt forholdet mellom blenderåpning og veggtykkelse under design.

3. Hva er materialet i den indre veggen til den hule strukturen, og er den slitebestandig-?

Innerveggmateriale og slitestyrke: Innerveggmaterialet er konsistent med plattformkroppen, og bruker vanligvis aluminiumslegering, støpejern, legert stål, etc. Innerveggen har generelt ikke direkte høyfrekvent friksjon, men hvis det er nødvendig å gjenge kabler eller ventilasjonsrør, kan overflateherding, anodisering og andre behandlinger brukes for å forbedre slitestyrken og korrosjonsmotstanden.

4. Støtter den hule strukturen gjenger, slanger eller ventilasjonsfunksjoner?

Funksjonell støtte: Den hule strukturen støtter fullt ut gjenger, rør og ventilasjon. Kabler, luftrør, optiske fibre, kjølevæskerør og laserstråler kan alle passere gjennom de hule hullene, og effektivt løse problemet med sammenfiltring av rørledninger under rotasjonsbevegelse.

5. Hvordan sikre den strukturelle styrken til hule roterende bord med store åpninger?

Tiltak for å sikre styrken til strukturer med store åpninger: ① Bruk høy-legert stål eller støpejernsmaterialer, ② Bruk kryssrullelagre med høy-presisjon for å øke stivheten, ③ Strengt kontroller forholdet mellom åpning og veggtykkelse, ④ Optimalisere utformingen av forsterkningsprosesser og overbelastning av armeringsjern og unngå overbelastning av armeringsjern avvik under transport